全國服務(wù)熱線(xiàn)
18913268389湯生
18913268389湯生
今后由于提高了堆積速率而鍍膜工藝逐步用于工業(yè)生產(chǎn),因此建設了很多PVD電鍍廠(chǎng)家。廠(chǎng)家鍍膜通常將欲堆積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑Π忻娴年?yáng)極上,距靶幾厘米。體系抽至高真空后充入 10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽(yáng)極間加幾千伏電壓,南北極間即發(fā)生輝光放電。
不同的膜層加工辦法也不一樣,PVD電鍍廠(chǎng)家在鍍制堆積絕緣膜可選用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對面的電極上。將真空鍍膜的高頻電源一端接地,一端經(jīng)過(guò)匹配網(wǎng)絡(luò )和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。
而濺射化合物膜層可用反響濺射法,即將反響氣體 (O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反響氣體及其離子與靶原子或濺射原子發(fā)生反響生成化合物(如氧化物、氮化物等)而堆積在基片上。
PVD鍍膜廠(chǎng)家經(jīng)過(guò)大量的試驗得知,選用磁控濺射可使堆積速率比非磁控濺射可提高近一個(gè)數量級。
189-1326-8389 在線(xiàn)咨詢(xún)
工藝定制 | 方案報價(jià) | pvd咨詢(xún)CopyRight 2019 All Right Reserved 蘇州志天納米科技有限公司 蘇ICP備20032692號-1