真空鍍膜設備主要是指一種需要在高真空度下進(jìn)行的鍍膜，包括很多種，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等等。主要思想是將其分為蒸發(fā)和濺射。

需要鍍膜的就成了基材，鍍的材料就成了靶材。襯底和靶一起在真空室中。

蒸發(fā)鍍膜一般是將靶材加熱，使表面成分以原子團或離子的形式蒸發(fā)，并沉積在基片表面。通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結構-雜散結構-層狀生長(cháng))形成薄膜。對于濺射鍍膜，可以簡(jiǎn)單理解為用電子或激光轟擊靶材，表面成分以原子團或離子的形式濺射出來(lái)，終沉積在基片表面，經(jīng)過(guò)成膜的過(guò)程，終形成薄膜。

真空鍍膜設備維護技巧

1.真空鍍膜設備200多道涂裝工序完成后，工作室要打掃一次。方法是:用苛性鈉飽和溶液反復擦洗真空室內壁(注意人體皮膚不要直接接觸苛性鈉溶液，以免灼傷)。目的是使鍍膜材料鋁與NaOH發(fā)生反應，反應后薄膜會(huì )脫落并釋放出氫氣。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布清洗細抽閥內的污垢。

2.當低真空泵(滑閥泵、旋片泵)連續工作一個(gè)月(雨季減半)時(shí)，需要更換新油。方法是:擰下放油螺栓，將舊油放掉，然后啟動(dòng)泵幾秒鐘，使泵內舊油全排出。擰回注油螺栓，并添加新油至額定量(用油鏡觀(guān)察)。連續使用半年以上，換油時(shí)要打開(kāi)油蓋，用布將盒內污垢擦拭干凈。

3.如果擴散泵已連續使用6個(gè)月以上，則抽氣速度明顯變慢，或操作不當。充入大氣，拆下連接水管，卸下電爐板，旋出一次噴嘴。先用汽油清洗泵腔和泵襯，再用洗衣粉加水沖洗。然后，用清水清洗。水蒸發(fā)干后，裝上泵膽，加新的擴散泵油，放回體內，接好水管。重啟機器前，注意泄漏檢測。

方法是:啟動(dòng)維護泵，關(guān)閉門(mén)，幾分鐘后，觀(guān)察擴散泵的局部真空度是否達到6X10 Pa，否則需要檢漏。檢查密封橡膠圈是否安裝在接頭處或密封圈是否被壓碎。排除漏氣隱患后才能加熱，否則擴散泵油會(huì )燒環(huán)，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。