1、真空鍍膜設備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢。

2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續工作一個(gè)月(雨季減半)，需更換新油。方法是:擰開(kāi)放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數秒，使泵內的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視鏡觀(guān)察)。連續使用半年以上，換油時(shí)應將油蓋打開(kāi)，用布擦干凈箱內污垢。

3、擴散泵連續使用6個(gè)月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯(lián)結水管，卸下電爐盤(pán)，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴散泵油，并裝回機體，接好水管，裝好電爐盤(pán)，便可以重新開(kāi)機。在重新開(kāi)機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動(dòng)維持泵，關(guān)好大門(mén)，數分鐘后，觀(guān)察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會(huì )燒環(huán)，無(wú)法進(jìn)入工作狀態(tài)。