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真空鍍膜設備其實(shí)是由很多不同的零件組成的,它們都是經(jīng)過(guò)各種機械加工完成的,例如車(chē)、銑、刨、磨、鏜、焊接等。這樣,零件表面不可避免地會(huì )沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發(fā),影響真空鍍膜設備的極限壓力和性能穩定性。此外,污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體,在真空環(huán)境中,這些氣體也要被釋放出來(lái),構成了限制真空鍍膜設備極限壓力的因素。為此,零件組裝前必須清除掉污染物。
此外,真空鍍膜設備在使用過(guò)程中,零件還會(huì )受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關(guān)。例如:真空鍍膜機的內壁會(huì )被蒸鍍材料污染;真空鍍膜設備真空抽氣機組的機械泵油更是污染源,設備長(cháng)期工作后會(huì )使設備內部形成明顯的油膜。這些污染同樣會(huì )影響設備的性能,應注意隨時(shí)清除。
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