真空鍍膜有哪些分類(lèi)?在光學(xué)、電子學(xué)、理化儀器、包裝、機械以及外表處理技能中經(jīng)常聽(tīng)到真空鍍膜這個(gè)詞。真空鍍膜加工是比較常用的涂層加工方式,就是在真空環(huán)境下,使用蒸鍍、濺射以及隨后凝聚的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層方法。
真空蒸鍍
其原理是在真空條件下,將離子直接加熱氣化或升華,蒸餾的離子流直接射向基片,并在基片上堆積出固態(tài)薄膜涂層。
濺射鍍膜
濺射鍍膜是真空條件下,在陰極接上2000V高壓電,激起輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極,使其射出原子,濺射出的原子通過(guò)惰性氣氛堆積到基片上構成膜層。
離子鍍膜
是在上面兩種真空鍍膜技能基礎融合款,因此兼有兩者的工藝特色。在真空條件下,使用氣體放電使工作氣體或被蒸騰物質(zhì)(膜材)部別離化,并在離子炮擊下,將蒸騰物或其反響物堆積在基片外表。在膜的構成過(guò)程中,基片一直遭到高能粒子的炮擊,非常清潔。
真空卷繞鍍膜
真空卷繞鍍膜是一種使用物理氣相堆積的辦法在柔性基體上連續鍍膜的技能,以完成柔性基體的一些功能性、裝飾性屬性。
上述四種都屬于物理氣相堆積技能使用(PVD)。
接下來(lái)是化學(xué)氣相堆積(CVD)。它是以化學(xué)反響的方法制造薄膜,原理是一定溫度下,將含有制膜材料的反響氣體通到基片上并被吸附,在基片上發(fā)生化學(xué)反響構成核,隨后反響生成物脫離基片外表不斷擴散構成薄膜。
束流堆積鍍,結合了離子注入與氣相堆積鍍膜技能的離子外表復合處理技能,是一種使用離化的粒子作為蒸鍍資料,在比較低的基片溫度下,構成具有良好特性薄膜的技能。